質(zhì)量流量傳感器的工作原理主要有熱式和科里奧利式。

熱式質(zhì)量流量計(jì)基于能量守恒定律，利用測(cè)量傳感器中介質(zhì)的溫度變化來(lái)計(jì)算介質(zhì)的熱量，進(jìn)而算出介質(zhì)的質(zhì)量流量。其傳感器由加熱裝置和測(cè)溫傳感器組成，加熱裝置使介質(zhì)溫度增加，測(cè)溫傳感器檢測(cè)溫度變化，介質(zhì)流過(guò)傳感器后的溫度變化與輸出信號(hào)成正比。

科里奧利式質(zhì)量流量計(jì)基于科里奧利力原理，包含一個(gè)或多個(gè)振動(dòng)的管道，流體在管道內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)受到科里奧利加速度的影響，使管道產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)，扭轉(zhuǎn)角度與流體的質(zhì)量流量成正比。通常配備有傳感器來(lái)檢測(cè)管道的振動(dòng)頻率和相位差，通過(guò)這些數(shù)據(jù)可計(jì)算出流體的質(zhì)量流量。中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有檢測(cè)線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周振動(dòng)。工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，會(huì)產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。安裝在振管兩端的檢測(cè)線圈產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)相位差與流經(jīng)傳感器振管的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系，計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據(jù)此可解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。