電容式進(jìn)氣管絕對(duì)壓力傳感器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理
2023-04-17 14:05:47
作者:蔡金盛
位于傳感器外殼內(nèi)腔的彈性膜片由金屬制成,彈性膜片的上下凹透鏡面也鍍有金屬,從而在彈性膜片和兩層金屬鍍層之間形成兩個(gè)串聯(lián)電容。
進(jìn)氣管電容式絕對(duì)壓力傳感器利用電容效應(yīng)來(lái)檢測(cè)進(jìn)氣管的絕對(duì)壓力。發(fā)動(dòng)機(jī)工作時(shí),進(jìn)氣管內(nèi)的氣壓作用在彈性膜片上,使彈性膜片運(yùn)動(dòng),彈性膜片與兩層金屬涂層之間的距離發(fā)生變化,一個(gè)距離減小,另一個(gè)距離增大,使彈性膜片與兩層金屬涂層之間形成的兩個(gè)電容的電容增大,另一個(gè)減小。電容的變化與彈性膜片的位移成正比,而彈性膜片的位移取決于上下腔中的氣體壓力。只要彈性膜片的上腔處于絕對(duì)真空,下腔與進(jìn)氣管相連,就可以通過(guò)檢測(cè)電容的變化來(lái)檢測(cè)進(jìn)氣管的絕對(duì)壓力。電容的變化通過(guò)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào),測(cè)量電路可以是電容橋式電路,也可以是諧振電路。
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