還原爐底盤的安裝是一個較為復雜的過程，需要特定的裝置和步驟。

首先，有一種還原爐底盤螺栓安裝裝置，包括環(huán)形體和多個頂升機構(gòu)。環(huán)形體設置在還原爐底盤下方，其上表面與多個螺桿下端固定連接，每個螺桿上端對應底盤的螺栓孔。多個頂升機構(gòu)均勻分布在環(huán)形體下方，其上端與環(huán)形體下表面連接，用于帶動環(huán)形體上下移動。

頂升機構(gòu)可以是氣缸機構(gòu)，氣缸機構(gòu)的活塞桿連接環(huán)形體下表面。也可以包括主動齒輪和齒條，主動齒輪轉(zhuǎn)動設置在環(huán)形體下方，齒條與主動齒輪嚙合，齒條上端連接環(huán)形體下表面。

還可能包括多個清潔機構(gòu)，環(huán)形體均布多個通氣管，每個清潔機構(gòu)包括從動齒輪、搖桿、遞推桿、活塞板和活塞缸。從動齒輪嚙合主動齒輪，搖桿一端連接從動齒輪輪面邊緣，另一端連接遞推桿一端，遞推桿另一端貫穿活塞缸側(cè)壁并固定連接活塞板，活塞缸側(cè)壁有進氣口和出氣口，進氣口和出氣口位于活塞板同一側(cè)，分別安裝有第一單向閥和第二單向閥，出氣口連接通氣管下端?；钊讉?cè)壁還安裝有安全閥。

在安裝過程中，當還原爐中的硅棒完成沉積反應后，操作工將螺桿上端螺帽拆卸，然后通過控制頂升機構(gòu)帶動環(huán)形體向下移動，使螺桿上端脫離鐘罩法蘭孔和底盤螺栓孔。這樣在吊起鐘罩時不會碰傷螺桿螺紋，拆卸底盤上的硅棒時鐵屑也不會掉落污染。

完成拆卸硅棒并清掃底盤后，將鐘罩放置在底盤上表面并對應好螺栓孔，再啟動頂升機構(gòu)帶動環(huán)形體和螺桿向上移動，避免螺桿螺紋碰觸鐘罩法蘭孔內(nèi)緣。通過這種安裝裝置，提高了安裝效率，避免了螺桿螺紋損傷，減少了備品備件更換頻率。

另外，還有一種多晶硅還原爐底盤，包括承載盤，承載盤有彼此相對的第一和第二表面，以及貫穿的多個加熱通孔和包圍加熱通孔的多個導電通孔。多個第一導電電極安裝在加熱通孔中，安裝端在第一表面之上。多個第二導電電極安裝在導電通孔中，安裝端也在第一表面之上。多個石墨預熱棒固定在第一導電電極安裝端上，多個硅芯固定在第二導電電極安裝端上。

當多晶硅還原爐啟動時，先在爐內(nèi)充入惰性氣體并控制壓力，接著向第一導電電極提供電流讓石墨預熱棒加熱，使爐內(nèi)溫度達到預定范圍，再向第二導電電極提供預定電壓范圍的電壓導通硅芯。

在多晶硅還原爐的吊裝過程中，采用“多機配合翻身起吊法”。設備卸車后將還原爐的盤管和底盤拆分，將底盤翻身并運輸、吊裝就位。底盤翻身時可放置于特定的翻身支架上。將鐘罩翻身并吊裝就位，鐘罩翻身前在尾部法蘭邊緣固定連接鐘罩翻身吊耳，頭部利用已焊接好的吊耳，通過主吊車和輔吊車配合實現(xiàn)翻身，然后由主吊車吊裝到位。

（圖/文/攝：太平洋汽車 整理于互聯(lián)網(wǎng)）